芯東西（公眾號：aichip001）
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芯東西1月14日報道，剛剛，無錫星微科技有限公司（簡稱“XIVI”）宣布，半年內連續完成B輪及B+輪累計超億元融資。
其B輪投資方包括上汽集團旗下尚頎資本和老股東毅達資本；B+輪投資方包括兩支江蘇省戰略新興產業母基金：無錫集成電路產業專項母基金、南通新一代信息技術產業專項母基金，以及江蘇有線旗下睿輝資本。
這也是無錫、南通兩支戰新母基金的首個直投項目。
星微科技XIVI成立于2015年，有高精度運動平臺、晶圓傳輸設備兩大主營產品，是業內少數能夠同時提供半導體精密運動控制與晶圓自動化傳輸設備關鍵零部件的公司之一，也是極少數能夠實現底層核心零部件自研的廠商。
無錫科創集團投資團隊評價星微科技XIVI是“半導體運動控制領域的新星”，“滿足國內設備國產化的零部件需求”。南通科創集團投資團隊也強調星微科技的高精度運動平臺與晶圓傳輸系統“自主化程度屬行業頭部”。
其累計投資方包括耀途資本、毅達資本、中匯金、北洋海棠基金、建發新興投資等知名機構。此前該公司曾在2023年7月獲得近億元A輪融資。
▲晶圓傳輸系統
星微科技XIVI致力于成為“晶圓超精密定位、傳輸、存儲一體化解決方案制造商”，掌握了多學科交叉的微米與納米級精密運動控制技術、精密制造與生產管理能力，通過提供模塊化和定制化的產品及服務，能夠靈活適應不同客戶場景的個性化需求，同時確保高效和穩定的系統性能。
該公司2017年開始晶圓傳輸系統產品的設計研發，2019年研發生產晶圓傳輸系統核心產品晶圓傳輸機械臂，2020年起其精密運動臺及傳輸系統在半導體量檢測類、泛半導體精密制造等設備實現批量出貨。
當前星微已形成半導體設備關鍵零部件產品矩陣：高精度運動臺、晶圓傳輸設備、晶圓真空機械手等。其高自主化的運動臺和晶圓傳輸系統（EFEM、SORTER、晶圓機械手等）已批量供應國內頭部的量檢測設備與工藝設備廠商，并獲得客戶認可。
2024年11月，星微XIVI發布真空機械手新品。作為晶圓的真空傳輸系統中的基板搬運機器人，XIVI真空機械手的全連桿手臂機構采用全閉環控制方式，可實現更高的定位精度、更快的響應時間、更高的工作效率。首臺晶圓真空機械手即將交付至國內頭部客戶。
▲晶圓真空搬運機械手
官網顯示，星微科技XIVI擁有逾110項相關專利，自研運動平臺出貨總量2000+、自研晶圓設備出貨總量300+。
尚頎資本投資團隊認為，隨著半導體行業國產替代對高精度運動控制系統需求激增，半導體設備子系統與零部件的國產化率進入加速提升階段，星微科技作為該領域頭部公司具備極強的發展潛力。
在毅達資本先進制造投資事業部徐杰博士看來，星微科技擁有底層設計和制造能力，其生產工藝涉及精密機械制造、工程材料、工程設計等多個領域，能夠與頭部半導體設備客戶形成高效合作研發和快速迭代。
當前，半導體設備零部件國產替代步伐加快，驅動上游的關鍵零部件替代加速。星微自研的真空傳輸系列產品，是半導體制造中極其重要的核心子系統零部件之一，為半導體行業提供了可替代化的自主精密運動控制解決方案。
星微科技XIVI計劃繼續加大在技術研發上的投入，推動半導體精密運動控制產品的創新升級，為半導體市場提供更多創新工業產品。
