芯東西(公眾號:aichip001)
作者 | ?ZeR0
編輯 | ?漠影

芯東西8月25日報道,8月22日,國內主要的集成電路光刻材料與前驅體材料供應企業之一恒坤新材向上交所科創板遞交上會稿,在上市之路邁出新的一步。

福建半導體光刻材料龍頭沖刺科創板!供貨主流12英寸晶圓廠,擬募資10億元

恒坤新材成立于2004年12月,致力于光刻材料、前驅體材料等12英寸集成電路關鍵材料的研發、生產與銷售,填補多項國內空白,配合境內晶圓廠在突破128層以上3D NAND閃存芯片、18nm以下DRAM芯片以及14nm以下邏輯芯片等國外重點技術封鎖領域提供光刻材料技術解決方案。

該公司注冊資本為3.82億元,2022年被認定為國家級專精特新“小巨人”企業,法定代表人、控股股東、實際控制人均為其董事長、總經理易榮坤。

其自產產品主要包括SOC、BARC、KrF光刻膠、i-Line光刻膠等光刻材料以及TEOS等前驅體材料ArF浸沒式光刻膠已通過驗證并小規模銷售,主要應用于先進NAND、DRAM存儲芯片與90nm技術節點及以下邏輯芯片生產制造的光刻、薄膜沉積等工藝環節。

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▲恒坤新材光刻材料主要應用于12英寸集成電路晶圓制造光刻工藝環節

根據弗若斯特沙利文市場研究統計,在12英寸集成電路領域,恒坤新材自產光刻材料銷售規模已排名境內同行前列,2023年度,其SOC與BARC銷售規模均排名境內市場國產廠商第一

2024年度,恒坤新材自產產品銷售收入為3.44億元(其中光刻材料銷售規模達3.00億元),已實現對日產化學、信越化學、美國杜邦、德國默克、日本合成橡膠、東京應化等境外廠商同類產品替代,實現對境內主流12英寸集成電路晶圓廠廣泛覆蓋。

此外,在境內集成電路產業替代需求增加的背景下,為快速獲取客戶資源,并積累產品導入和品控經驗,恒坤新材以引進境外產品為切入點,引進并銷售光刻材料、前驅體材料、電子特氣及其他濕電子化學品等集成電路關鍵材料,創新性地走出了一條“引進、消化、吸收、再創新”的發展路徑。

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報告期內,其客戶涵蓋了多家中國境內領先的12英寸集成電路晶圓廠,實現境外同類產品替代,打破12英寸集成電路關鍵材料國外壟斷,自產產品在部分客戶累計銷售規模已突破億元

恒坤新材曾于2015年5月在股轉系統掛牌,于2021年5月完成股轉系統摘牌。

本次發行上市,恒坤新材擬募資10.07億元,用于集成電路前驅體二期項目與集成電路用先進材料項目。

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一、去年營收5.48億,凈利潤近億

集成電路關鍵材料細分品類眾多,可以分為前道工藝晶圓制造材料后道工藝封裝材料

前道工藝晶圓制造材料包含硅片、掩模板、光刻材料、前驅體材料、電子特氣、研磨拋光材料、濕電子化學品、 高純試劑、 濺射靶材等。

在晶圓制造過程中,硅晶圓環節會用到硅片;清洗環節會用到濕電子化學品;光刻中涂膠環節會用到光刻材料,曝光環節會用到掩模板;顯影、去膠環節均會用到高純試劑;刻蝕環節會用到高純試劑、電子特氣;薄膜沉積環節會用到前驅體材料靶材;研磨拋光環節會用到拋光液拋光墊等。

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光刻工藝定義了集成電路產品的尺寸,是集成電路制造工藝中的關鍵一環。光刻工藝難度最大,耗時最長,芯片在生產過程中一般需要進行20至90次光刻。

同時,光刻材料貫穿整個光刻工藝,集成電路生產制造過程中,光刻材料成本約占集成電路制造材料成本的13%-15%,光刻工藝成本約占晶圓制造工藝的1/3,耗時占晶圓制造工藝的40%-50%。

光刻材料主要包括SOC(Spin On Carbon)、ARC(Anti-reflective Coating)、光刻膠、 Top Coating、稀釋劑、沖洗液、顯影液等,系光刻工藝中重要材料之一,決定著晶圓工藝圖形的精密程度與產品良率。

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近年,境內集成電路產業發展迅速,部分關鍵材料已逐步實現國產化應用,但整體國產化水平仍然較低。

尤其在中高端領域,根據弗若斯特沙利文市場研究,在12英寸集成電路領域,i-Line光刻膠、SOC國產化率10%左右,BARC、KrF光刻膠國產化率1-2%左右,ArF光刻膠國產化率不足1%,EUV光刻膠完全由國外廠商壟斷。

報告期內,恒坤新材主要產品包括光刻材料前驅體材料,相關產品廣泛應用于12英寸集成電路晶圓制造各類工藝。

  • 前驅體材料:在研和生產的包括TEOS等硅基前驅體材料和四氯化鉿等金屬基前驅體。
  • 光刻材料:KrF、ArF將更好地滿足客戶先進制程的需求;Top Coating 用于超高端芯片制造的輔助材料,即頂部抗水涂層,搭配浸沒式光刻膠 ArFi 使用,可防止光刻膠的有機物成分進入光刻機中導致的污染光刻機鏡頭,可適用于45nm~7nm芯片制造。

其技術儲備覆蓋128層及以上3D NAND18nm及以下DRAM存儲芯片以及7-90nm技術節點邏輯芯片等境內集成電路產業主要布局產品。

截至報告期末,恒坤新材共有員工347名,其中研發人員共54名,占員工總人數的比例為15.56%;自產產品在研發、驗證以及量供款數累計已超過百款

2022年、2023年、2024年,恒坤新材的營收分別為3.22億元、3.68億元、5.48億元,凈利潤分別為1.00億元、0.90億元、0.97億元,研發費用分別為0.43億元、0.54億元、0.89億元。

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▲2022年至2024年,恒坤新材的營收、凈利潤、研發支出變化(芯東西制圖)

2025年1-6月,其營收為2.94億元,凈利潤為0.42億元。該公司預計2025年1-9月營收為4.4億~5.0億元,歸母凈利潤分別為0.62億~0.68億元。

近三年,該公司自產產品銷售收入分別為1.24億元、1.91億元、3.44億元,復合增長率為66.89%。

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2022年、2023年、2024年,恒坤新材引進產品銷售毛利分別占其主營業務毛利的比例分別為82.05%、74.42%、65.86%,自產產品銷售毛利占主營業務毛利的比例分別為17.95%、25.58%、34.14%。

2025年1-6月,該公司引進產品銷售毛利占主營業務毛利的比例進一步下降。其引進產品銷售毛利占比逐年降低,但仍是利潤來源之一。

報告期內,恒坤新材自產光刻材料毛利率分別為39.17%、35.70%、33.47%,處于可比公司可比業務毛利率的中間水平,與平均水平接近。

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由于其自產前驅體材料尚處于產能爬坡階段,產能利用率較低,單位產品分攤的固定成本較高,毛利率分別為-329.59%、-19.91%和-1.56%,毛利率持續上升但仍為負值,拉低了該公司自產產品的整體毛利率。

2025年1-6月,隨著產量進一步提升,恒坤新材自產前驅體材料的毛利率已由負轉正。

報告期內,恒坤新材引進產品包括光刻材料、前驅體材料、電子特氣及其他濕電子化學品等。其引進光刻材料相關產品均系替代美日廠商同類產品,滿足了境內晶圓廠關鍵材料的替代需求,具體如下:

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前驅體材料、電子特氣及其他濕電子化學品屬于相對標準化的產品,公司根據客戶需求,與境外供應商對接產品引進;光刻材料屬于高度定制化產品,即在產品完成導入前,供應商并不存在無需改良調整即可直接銷售的成熟產品。

引進過程中,恒坤新材需全面跟進客戶送樣測試、反饋改良以及產品調整等核心環節,并根據客戶工藝制程情況,對產品配方改良、參數調整以及定制開發工作提出技術建議,與供應商合作定制光刻材料產品。

二、累計自產銷售超過40000加侖光刻材料

報告期內,恒坤新材自產SOC與BARC銷售收入占自產光刻材料銷售收入的比例均超過90%,是其自產光刻材料主要銷售品種。

SOC是晶圓制造光刻工藝必備光刻材料之一,是集成電路制造高端技術節點制程中圖形化工藝的硬掩膜材料。

抗反射涂層根據涂覆位置不同主要分為位于襯底與光刻膠之間的BARC與位于光刻膠頂部的TARC,其中BARC占抗反射涂層市場規模超過70%。

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在12英寸集成電路領域,全球范圍內生產SOC與抗反射涂層的企業主要有日本合成橡膠、信越化學、美國杜邦、BrewerScience、德國默克、PIBOND等。

恒坤新材SOC與BARC均已實現穩定量產供貨,已實現適配浸沒式光刻工藝BARC量產供貨,全面助力境內集成電路先進制程的快速發展。

根據弗若斯特沙利文市場研究統計,2023年度,恒坤新材SOC與BARC銷售規模均已排名境內市場國產廠商第一。2024年度其SOC銷售規模達2.32億元,預計境內市占率超過10%

除該公司量產供貨外,境內集成電路晶圓廠SOC與BARC仍然主要通過進口方式采購。

截至報告期末,恒坤新材自產SOC與BARC已累計量產供貨超過36000加侖,量產供貨產品款數合計超過35款,成功替換境外廠商同類產品。

其SOC產品核心評估指標良好,能夠滿足先進NAND、DRAM存儲芯片制造工藝、45nm至7nm制程邏輯芯片制造工藝需求;BARC具備良好的光反射控制,可調節刻蝕速率,與光刻膠良好兼容,能適配浸沒式光刻工藝及FinFET工藝中特殊需求。

光刻膠的性能和品質與芯片良率、可靠性及光刻生產成本密切相關。

光刻膠按照化學反應和顯影原理可分為正性光刻膠和負性光刻膠,按照應用領域劃分可分為PCB光刻膠、LCD光刻膠、半導體光刻膠。其中,半導體光刻膠技術壁壘最高,LCD光刻膠次之,PCB光刻膠技術壁壘最低。

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半導體光刻膠根據曝光光源波長可進一步分為g-Line光刻膠(436nm)、i-Line光刻膠(365nm)、KrF光刻膠(248nm)、ArF光刻膠(193nm)、EUV光刻膠(13.5nm)等。

在集成電路晶圓制造過程中,光刻膠與其他光刻材料根據工藝先后旋涂于襯底上,通過曝光、顯影、刻蝕等工藝流程,將掩模板上的圖形轉移至晶圓表面,從而實現細微圖形加工。

根據弗若斯特沙利文市場研究,在12英寸集成電路晶圓制造領域,全球范圍內生產半導體光刻膠的企業主要有日本合成橡膠、信越化學、東京應化、富士膠片、美國杜邦等。

境內企業除恒坤新材已實現i-Line光刻膠與KrF光刻膠量產供貨外,包括南大光電、北京科華、上海新陽、瑞紅蘇州等也有半導體光刻膠產品在驗證或量產供貨過程中。

2024年度,恒坤新材i-Line光刻膠銷售規模達715.19萬元,KrF光刻膠銷售規模達1352.31萬元,相較境內整體市場規模而言,仍具備廣闊成長空間。

報告期內,該公司量產供貨光刻膠均系半導體光刻膠,應用于12英寸集成電路晶圓制造。截至報告期末,其自產KrF光刻膠和i-Line光刻膠已累計量產供貨超過3600加侖

同時,除已批量供貨產品外,恒坤新材已有超過10款i-Line光刻膠、KrF 光刻膠以及ArF光刻膠進入驗證流程,部分產品已驗證通過并小規模銷售,預計將在未來實現對境外廠商同類產品替代。

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除上述光刻材料外,該公司進入客戶驗證流程的光刻材料還包括SiARC、Top Coating以及其他光刻工藝配套試劑等。

在半導體領域,前驅體材料從化學性質方面系指攜有目標元素,呈氣態或易揮發液態或固態,且具備化學熱穩定性,同時具備相應的反應活性或物理性能的一類物質,是薄膜沉積工藝的核心材料之一。

報告期內,恒坤新材自產硅基前驅體材料以TEOS為主。其子公司大連恒坤通過與Soulbrain合作,引進TEOS生產管理技術實現自產,產品純度達到9N(99.9999999%)電子級別要求,未來將在客戶端逐步置換該公司自Soulbrain引進的TEOS。

除TEOS外,恒坤新材已在開發其他硅基與金屬基前驅體材料,已有超過5款前驅體材料在研發或驗證過程中。

三、客戶覆蓋多家主流12英寸晶圓廠

報告期內,恒坤新材前五大客戶的收入占其主營業務收入的比例分別為99.22%、97.92%和97.20%,客戶集中度較高。其中,向第一大客戶的銷售占比分別為72.35%、66.47%以及64.07%,對其存在較大依賴。

這主要是由于下游晶圓制造行業集中度較高所致。

根據弗若斯特沙利文統計,客戶A、客戶B、客戶C、客戶D以及客戶E均為2023年境內產能前十大晶圓廠。客戶A、客戶B、客戶C均系知名存儲芯片制造廠商,客戶D、客戶E等均系知名邏輯芯片生產廠商。

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其中,恒坤新材報告期各期向第一大客戶銷售的引進自SKMP的光刻材料銷售毛利分別為1.38億元、1.16億元、1.42億元。

為進一步跟進國家集成電路國產化戰略,自2025年起,恒坤新材與SKMP之間已終止該部分光刻材料產品合作,恒坤新材引進業務收入和毛利將較2024年同比下滑,預計短期將對業績造成不利影響。

2025年1-6月,恒坤新材向第一大客戶的自產業務收入增長迅速,同比增長超過80%,抵消了SKMP直接向第一大客戶銷售對恒坤新材引進業務收入的影響,恒坤新材向第一大客戶整體銷售收入保持同比增長。

報告期內,恒坤新材對客戶C實現銷售收入占主營業務收入的比例分別為13.57%、9.15%、5.49%,隨著公司業務的快速發展占比逐年降低。

恒坤新材向客戶C銷售的主要產品分別采購自Soulbrain和SK集團下屬企業,且根據該公司與Soulbrain簽訂的《生產技術轉讓協議》,恒坤新材自產TEOS可銷售至除三星、SK海力士及其所屬公司外其他所有境內晶圓廠及其海外子公司,并可在Soulbrain同意基礎上向境外其他非韓國、非Soulbrain客戶銷售。

根據公開信息,SK海力士已完成對客戶C的收購。這筆收購可能導致恒坤新材與客戶C之間的持續合作存在不確定性,進而對經營業績產生不利影響。

報告期內,恒坤新材原材料采購金額逐年增加,主要原材料仍然通過境外供應商供應。

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該公司已持續完善供應鏈布局,不存在嚴重依賴少數供應商的情況,與上述供應商之間不存在關聯關系。

四、11年前轉型入局集成電路,2022年自產產品收入突破億元大關

恒坤新材成立于2004年,設立之初主要從事光電膜器件及視窗鏡片產品的研發、生產以及銷售,自2014年起推進籌劃業務轉型,并確定以集成電路領域關鍵材料為業務轉型戰略方向。2014年,其營收已突破2億元。

2017年,恒坤新材引進的進口光刻材料與前驅體材料陸續通過多家中國境內領先的12英寸集成電路晶圓廠驗證,并實現常態化供應。該公司在2018年設立大連恒坤,啟動大連前驅體材料工廠建設,2019年設立福建泓光,啟動漳州光刻材料工廠建設。

2020年,福建泓光光刻材料工廠正式投產,當年完成SOC生產供貨,成功打破境外廠商壟斷。2020年以來,恒坤新材自產光刻材料與前驅體材料陸續通過多家客戶驗證并實現銷售,并在2022年實現自產產品銷售收入突破億元大關。

截至招股書簽署日,易榮坤直接持有恒坤新材19.52%的股份表決權,并通過廈門神劍、晟臨芯、兆蒞恒間接控制恒坤新材5.94%的股份表決權,另外通過與公司股東肖楠、楊波、張蕾、王廷通、陳江福、李湘江簽訂《一致行動協議書》控制恒坤新材15.41%的股份表決權,合計控制的恒坤新材股份表決權比例為40.87%,是恒坤新材控股股東、實際控制人。

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易榮坤出生于1971年6月,1999年12月至2020年6月任恒坤工貿執行董事兼總經理,2004年12月至2012年3月任恒坤有限總經理,2012年3月至2014年1月任恒坤有限監事,2014年1月至今任恒坤新材董事長,2017年2月至今任恒坤新材總經理。

本次發行完成前后,恒坤新材股本結構如下:

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其股東深創投屬于國有實際控制股東,淄博金控、漳州高新屬于國有股東 。

恒坤新材擁有11家一級全資子公司、1家二級控股子公司、 5家參股公司以及1家分公司,重要子公司包括福建泓光、大連恒坤、上海楚坤、香港恒坤、安徽恒坤、翌光半導體。

其中,翌光半導體報告期內已注銷。翌光半導體原是由恒坤新材于2018年8月參與設立且持有65%股權的控股子公司,主要從事集成電路光刻膠及前驅體的研發及國產化,相繼投資設立了福建泓光、大連恒坤、泓坤微電子等公司,建設有漳州、大連兩個生產基地。

基于擴展半導體業務的戰略發展考慮,恒坤新材于2021年發行股份收購了其余少數股東楊波、張蕾、李湘江持有的翌光半導體合計35%的股權。通過此次收購,翌光半導體成為恒坤新材全資子公司。

為了專注于集成電路領域關鍵材料的研發與產業化應用,進一步將資源集中于公司核心業務,提高管理效率,2019年12月,恒坤新材將全資子公司蘇州恒坤、廈門積能、深圳欣恒坤轉讓給恒坤投資,從合并報表范圍內剝離。

2024年,恒坤新材董事、監事、高級管理人員和核心技術人員在公司領取報酬的情況如下:

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上述人員中, 莊超穎為恒坤新材外部董事,不在該公司領取薪酬;黃興孿、蘇小榕、鄒友思僅在該公司領取獨立董事津貼,不享有其他福利待遇。

結語:集成電路關鍵材料國產化戰略任重道遠

現階段,境內關鍵材料廠商雖然已有突破,但是尚未在先進制程形成大規模量產供貨局面。

恒坤新材SOC、BARC、KrF光刻膠、i-Line光刻膠以及TEOS均已實現量產供貨,ArF浸沒式光刻膠已通過驗證并小規模銷售,并持續完善光刻材料和前驅體材料品類與維度。

集成電路關鍵材料研發與驗證周期均較長,且從驗證到客戶導入最終實現批量供貨還需較長時間,集成電路關鍵材料國產化戰略任重道遠。

隨著國家科技重大專項支持和集成電路產業快速成長的帶動下,光刻材料整體研發與制備水平得到提升,將帶動恒坤新材銷售規模進一步增長。